等离子清洁机 [解決方案]

等离子清洁的工艺

半導体ウェハ工程

PSX307A

PSX307A

  • 通过晶圆洗净、性质改善提高倒装芯片性、锡膏倒装焊性、晶片附着性
  • WLCSP用焊球洗净
  • 镀层工程用除渣处理
 
組み立て工程

PSX307

PSX307A

  • 通过电极洗净提高引线接合性、倒装芯片接合性
  • 通过改善表面性质提高模铸密着性、填充浸润性
 

等离子清洁的应用软件

引线接合Bondability

Memory

填充Adhesive

Processor

LED封装Bondability

LED

倒装芯片接合Bondability

SAW
RF module

 

等离子清洁机PSX系列的特征

通过等离子显示器回避薄基板的异常放电

Panasonic的专利技术

  • 回避异常放电,防止不良基板流出到后工程
  • 显示器的信息可以按每个工件单位来记录(选项)。

工 分析、解决方案的提案服

  • 请与我们商洽客户的难题。
  • 通过驱使各种分析装置的实际验证,支援工艺改善。