超高精度三维测量仪

概要

“不能测量的物品是无法制作的”UA3P,在各种不同的细微形状测量中支持纳米精度的制造。

对于智能手机/DSC/DVD和Blu-ray等数码家电、家庭安防系统、光通信、车载用HUD中不可或缺的非球面镜头和自由曲面反光镜及其金属模,以最高0.01μm的精度实现测量。

各种测量仪的测量精度和适用领域

各种测量仪的测量精度和适用领域

倾斜角70度,从±0.10μm的超高精度测量到 500mm的大型零部件测量全面应对

UA3P-3000UA3P-700H

不同机种的测量区域/精度度

不同机种的测量区域/精度度

测量对象

移动体镜头
移动体镜头
镜头用圆筒
镜头用圆筒
DSLR镜头
DSLR镜头
fθ镜头
fθ镜头
X射线望远反光镜
X射线望远反光镜
镜头金属模
镜头金属模
摄像机用镜头
摄像机用镜头
环形圆纹曲面镜头金属模
环形圆纹曲面镜头金属模
步进曝光装置镜头
步进曝光装置镜头
 

特长

坐标测量技术

测量仪的坐标系,由独立于测量台的3枚参照平面(反光镜)构成,通过将频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法,对于XYZ各轴,以0.3nm的分辨率测量长度。由此,将会抑制测量台的直角度、直线度造成的影响,实现高精度测量。

●坐标轴造成的测量误差: 0.05μm以内(~100mm)
0.3μm以内(~500mm)
坐标测量技术
 

上表面测量探头/AFP

Top AF Probe

可用超低测量力来进行测量物的高精度扫描测量。测头通过微型气动滑块保持,通过聚焦用激光检测测头的移动,以使得测量力保持一定的方式根据测量物的形状跟随AFP的位置。

●测量力: 0.15~0.30mN(15~30mgf)
※UA3P-3000は0.10~0.20mN
●测头:可以使用前端角度30度、R2μm金刚石测头
上表面测量探头/AFP
 

侧面测量探头/S-AFP

Side Side-AF Probe

将高精度检测的探头反光镜的倾斜反馈至XY测量台,即可进行低接触力(0.3mN)的扫描测量。属于镜头镜筒(圆筒)等的树脂产品,可无变形地进行测量。

●测量力:0.3mN(30mgf)
●测量精度:±0.15μm(90°倾斜测量时)
●测量最大角度: 水平方向测量时45°~90°(针对水平面的角度)
>垂直方向测量时80°~90°(针对水平面的角度)
侧面测量探头/S-AFP
 

软件

通过简单的操作,实现高速、高精度的测量,可应对所有的设计信息,并可三维修正测量物的设置误差,进行正确的形状测量

 

上侧面评估技术

SideTop

通过合成上表面数据和侧面数据,即可评估侧面基准下的镜头和金属模的光轴偏心、倾斜