光产业 : 超高精度三维测量仪

 
规格
标准机
机种名 UA3P-300 UA3P-4 UA3P-5
外观
外形尺寸(W×D×H)mm 700×780×1500 1000×1100×1400 200×1350×1550
本体重量 700kg(其他:150kg) 1200kg(其他:150kg) 1500kg(其他:150kg)
测量范围(X,Y,Z轴)mm 30×30×20 100×100×35 200×200×45
测量物设置区域(X,Y,Z轴)mm 100×100×110 220×220×115 330×330×230
测量探头 AFP AFP AFP
分辨率 0.3nm
上表面测量最大倾斜角度 75° 60° 60°
侧面测量角度
基于上表面探头的测量精度
※使用标准红宝石测头、或者陶瓷测头时
30°以下:±0.05μm(往返)
45°以下:±0.08μm(往返)
60°以下:±0.15μm(往返)
70°以下:±0.15μm(向下)
0°以下:±0.05μm(往返)
45°以下:±0.10μm(往返)
60°以下:±0.30μm(往返)
基于坐标轴的测量精度
(XY轴测量精度)
100mm以下:0.05μm(再现精度0.05μm以内)
200mm以下:0.1μm(再现精度0.05μm以内)
测量速度 0.005~5mm/sec 0.01~10mm/sec
使用环境 温度 20~23℃(变动±1℃以下)
湿度 20~60%(空调的风不应直接吹到本体)
振动 允许值2.0cm/s2(=2.0gal) 建议值0.5cm/s2
所用动力源 电源设备 AC100V±5%/15A
气压源 0.5Mpa~1.0Mpa 流量150NL/min
标准附件 标准红宝石测头、标准金刚石测头、AFP(300/1个、4・5/2个)、校正用基准球、打印机
 
大型機
机种名 UA3P-500H / 550H UA3P-650H UA3P-700H
外观
外形尺寸(W×D×H)mm 1200×1350×1550 2100×1820×2110 2100×1820×2110
本体重量 2300kg(其他:300kg) 8500kg(其他:300kg) 9000kg(其他:300kg)
测量范围(X,Y,Z轴)mm 200×200×45 /
200×200×45、260×90×45
400×400×120/φ500×120 500×500×120
测量物设置区域(X,Y,Z轴)mm 330×330×230 600×600×330 600×600×330
测量探头 AFP※2 AFP※2 AFP※2
分辨率 0.3nm
上表面测量最大倾斜角度 75° 75° 75°
侧面测量角度
基于上表面探头的测量精度
※使用标准红宝石测头、或者陶瓷测头时
30°以下:±0.05μm(往返)
45°以下:±0.08μm(往返)
60°以下:±0.10μm(往返)
70°以下:±0.15μm(向下)
基于坐标轴的测量精度
(XY轴测量精度)
100mm以下:0.05μm(再现精度0.05μm以内)/200mm以下:0.1μm(再现精度0.05μm以内)
400mm以下:0.2μm(再现精度0.05μm以内)/500mm以下:0.3μm(再现精度0.05μm以内)
测量速度 0.01~20mm/sec 0.01~30mm/sec
使用环境 温度 20~23℃(变动±1℃以下)
湿度 20~60%(空调的风不应直接吹到本体)
振动 允许值2.0cm/s2(=2.0gal) 建议值0.5cm/s2
所用动力源 电源设备 AC100V±5%/15A
气压源 0.5Mpa~1.0Mpa 流量250NL/min 0.5Mpa~1.0Mpa 流量420NL/min
标准附件 陶瓷测头(2个)、标准金刚石测头(2个)、AFP(2个)、校正用基准球、打印机
         
大型機 Twin探头
(上表面、侧面测量仪)
高精度机  
机种名 UA3P-400T UA3P-3000  
外观  
外形尺寸(W×D×H)mm 1100×1230×1540 1260×840×1510  
本体重量 750kg 950kg  
测量范围(X,Y,Z轴)mm 100×100×35 30×30×20  
测量物设置区域(X,Y,Z轴)mm 200×200×110 100×100×110  
测量探头 AFP/S-AFP AFP※3  
分辨率 0.3nm  
上表面测量最大倾斜角度 75° 75°  
侧面测量角度 水平:45~90°
垂直:80~90°
 
基于上表面探头的测量精度
※使用标准红宝石测头、或者陶瓷测头时
30°以下:±0.05μm(往返)
45°以下:±0.08μm(往返)
60°以下:±0.15μm(往返)
70°以下:±0.15μm(向下)
30°以下:±0.05μm(往返)
45°以下:±0.06μm(往返)
60°以下:±0.07μm(往返)
70°以下:±0.10μm(往返)
 
基于坐标轴的测量精度
(XY轴测量精度)
100mm以下:0.05μm(再现精度0.05μm以内)  
测量速度 0.01~10mm/sec 0.005~5mm/sec  
使用环境 温度 20~23℃(变动±1℃以下)  
湿度 20~60%(空调的风不应直接吹到本体)  
振动 允许值2.0cm/s2(=2.0gal)
建议值0.5cm/s2
允许值1.0cm/s2(=1.0gal) 
建议值0.5cm/s2 
 
所用动力源 电源设备 AC100V±5%/15A  
气压源 0.5Mpa~1.0Mpa 流量150NL/min  
标准附件 标准红宝石测头、标准金刚石测头、
φ2mm红宝石测头
AFP、侧面探头(各1个)
校正用基准球、打印机
陶瓷测头、标准金刚石测头
AFP(1个)
校正用基准球、打印机
 
TOP 关于上表面测量仪的说明 SIDE 关于侧面测量仪的说明
※2 UA3P高精度机探头
※3 UA3P-3000专用探头
※4 ・本产品属于《外汇及外国贸易法》中规定的管制货物的产品(或者技术)。
・在出口该产品(或者技术)时,或者带到国外时,必须事前得到日本国政府的出口许可,所以务必予以联络。