松下出品的计量和测量系统的优势

全球顶尖水准的三维测量仪“UA3P”可适应众多领域。

  1. 超高精度测量(实现单纳米级重现性)
  2. 通过接触测量实现绝对形状评估(旋转对称非球面/自由曲面)
  3. 支持复杂形状的灵活NC路径
  4. 可以根据测量数据进行各种分析(ex. Zerinike分析)
  5. 还可进行面间/外形偏心评估(ex.非球面/自由曲面/晶圆透镜)
  6. 可以测量复杂形状的表面粗糙度
  7. 没有设计公式也可进行测量评估
  8. 可以使用CAD数据评估
  9. 通过自动测量实现作业平准化、省人化
各种测量仪的测量精度和适用领域

产品一览

通过高精度的计量·测量技术,为生产制造提供支持


超高精度三维测量仪

超高精度三维测量仪

以最高0.01μm的精度实现非球面镜头、自由曲面反光镜及其模具的测量。操作简单,并且还支持快速向加工端反馈。

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松下出品的计量和测量系统的特点

坐标测量技术

测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面(镜片)构成,通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法,以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响,实现高精度测量。

  • 坐标轴导致的测量误差:0.05 μm以内(~100 mm)、0.3 μm以内(~500 mm)
坐标测量技术

测量探针

能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针,通过对焦用激光检测触针的动作,根据测量物的形状跟随AFP的位置,确保测量力恒定。

  • 测量力:0.15~0.30 mN(15~30mgf)※UA3P-3100/4000は0.05~0.30 mN、UA3P-5000Hは0.10~0.30 mN
  • 触针:可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石触针
测量探针

核心·软件技术

以简单的操作,实现高精度的测量。可以支持所有设计信息,三维补正测量物的设置误差,实现正确的形状测量。

通过简单的操作,实现高速、高精度的测量

展会和研讨会信息

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