| 対象ガス |
H2, N2, H2O |
| 流量範囲 (L/min) |
0～2000 L/min（ノルマル流量, H2 = 100 vol%） ※ N2 = 100 vol%の時は400 L/min（ノルマル流量）まで |
| 流量精度 (%) |
±3 %RD or ±3 L/minの大きい方 （H2 or N2 = 100 vol%, 23±5 ℃, 101±3 kPa, <5 %RH） |
| 濃度範囲 (vol%) |
0 ～ 100 |
| 濃度精度 (%) |
±1 vol% (H2 or N2 = 100 vol%, 23±5°C, 101±3 kPa, <5 %RH) |
| 動作周囲環境 |
-40～+70 ℃ / 80～106 kPa / 0～95 %RH（ただし露点30℃以下、凍結、結露無き事） |
| 動作管内環境 |
-30～+85 ℃ / 80～340 kPa / 0～100 %RH（ただし露点60℃以下、凍結無き事） ※液滴流入下でも計測可能 |
| 保証圧力 (kPa) |
-40 ~ +105°C / 70 ~ 500 kPa |
| 圧力損失 (kPa) |
2 kPa以下［H2 = 100 vol%, 2000 L/min（ノルマル流量）, 200 kPa］ |
| 出力 |
①アナログ電圧出力: DC 1-5 V 8系統 ： 流量（ノルマル・体積）/濃度/温度/圧力/湿度/露点/エラー出力
②デジタル： USB2.0 流量（ノルマル・体積）/温度/圧力/濃度/湿度/露点/エラー出力 |
| データ出力周期 (ms) |
10 |
| 電源 |
USBケーブルによるPCからの給電 ※ アナログ出力使用時は別途 DC12 V/0.3 A以上必要 |
| 配管継ぎ手 |
- |
| サイズ (mm) |
261x 140 x 97 |
| 重量 (kg) |
3.3 |
| 備考 |
ノルマル流量とは、温度0 ℃、圧力101.325 kPaで換算した流量値。
圧力は全て絶対圧表記。 |