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对应面向车载领域的功能安全（ISO26262），为车载系统的安全性做出贡献
借助基于单芯片MEMS构造的高6轴正交性，为车载系统的高性能化和设计自由度的提高做出贡献
为车载系统的综合化、车载ECU的小型化做出贡献
Topics
- 2023-10-31 EWTS5G系列新增HP型 (高性能)。
- 2020-01-08 实现了6轴车载惯性传感器 (6in1传感器)的商业化。
特点
6轴车载惯性传感器（6in1传感器），通过对施加到汽车上的3轴（前后、左右、上下）的加速度、该3轴的角速度，总共6轴的惯性力进行检测，为ADAS（高级驾驶辅助系统）和自动驾驶等各系统的高精度化做出贡献。
特点① 对应面向车载领域的功能安全（ISO26262），为车载系统的安全性做出贡献
- 可对应ASIL-D的功能安全开发
该款传感器符合因应客户系统的安全容许度（ASIL:Automotive Safety Integrity Level）的ISO26262标准，支持基于出示必要文档的论证构建，以及保证面向车载用途的传感器的品质。
特点② 借助基于单芯片MEMS构造的高6轴正交性，为车载系统的高性能化和设计自由度的提高做出贡献
- 轴间正交性：角速度、加速度间 ≦0.01°
过去用于车载的惯性传感器，其角速度和加速度的元件是由多个芯片构成的，因此之故，曾面临因角速度和加速度的轴偏离而影响输出精度的课题。
本产品通过采用在同一平面上各轴独立配置角速度和加速度的共6轴的单芯片检测元件，能够在６轴正交的状态下高精度地检测惯性力，而不受设置姿势的限制。
过去的惯性传感器 芯片构成示意图
≦1.7°
6in1传感器 芯片构成示意图
轴间正交性
≦0.01°
特点③ 为车载系统的综合化、车载ECU的小型化做出贡献
- 6轴１封装：4.5 x 4.5 x 1.1 mm
本产品采用静电MEMS技术，通过晶圆级封装使得盖子、MEMS元件和ASIC形成一体，实现了小型低身的6轴惯性传感器。由此，为车载系统的综合化和车载ECU的小型化做出贡献。
特点④ 通过凹痕加工，于提高安装质量贡献
借助凹痕加工，能够在引线端子的侧面形成可目视的焊脚。由此，通过焊脚的目视检查，即可确认端子是否已被正常地焊接到基板的焊盘部。
凹痕加工示意图
安装完后的外观示意图
额定
| 项目 | EWTS5G | |
|---|---|---|
| 尺寸(mm) | 4.5ｘ4.5ｘ1.1 | |
| 使用温度范围 | -40 ℃ ～ +125 ℃ | |
| 储存温度范围 | -40 ℃ ～ +125 ℃ | |
| 电源电压范围 | 3.3 ± 0.3 V | |
| 消耗电流 | ≦ 10 mA | |
| 输出形式 | SPI | |
| 角速度 | 检测轴 | X, Y, Z轴 |
| ０点输出误差 | ≦ ± 2.0 dps | |
| 灵敏度输出误差 | ≦ ± 3.0 % | |
| 检测范围 | ±300, ±150, ± 120, ±60, ±30 dps(可指定) |
|
| 频率响应性 (-3dB) |
10, 12.5, 27, 30, 46, 60 Hz (可指定) |
|
| 其他轴灵敏度 | ≦ ± 1.7 % | |
| 输出噪声 | ≦ 0.1 dps rms ( 60 Hz ) |
|
| 轴间正交性 | ≦0.01° | |
| 加速度 | 检测轴 | X, Y, Z |
| ０点输出误差 | ≦ ± 0.05 G (X, Y) ≦ ± 0.084 G (Z) |
|
| 灵敏度输出误差 | ≦ ± 3.0 % | |
| 检测范围 | ±16, ±8, ±2, ±1 G (可指定) | |
| 频率响应性 (-3dB) |
10, 46, 60, 250, 300, 400 Hz (可指定) |
|
| 其他轴灵敏度 | ≦ ± 1.7 % | |
| 输出噪声 | ≦ 0.004 G rms (LPF : 60 Hz ) |
|
| 轴间正交性 | ≦0.01° | |
| EWTS5G-HP |
|---|
| 4.5ｘ4.5ｘ1.1 |
| -40 ℃ ～ +125 ℃ |
| -40 ℃ ～ +125 ℃ |
| 3.3 ± 0.3 V |
| ≦ 10 mA |
| SPI |
| X,Y,Z轴 |
| ≦ ± 2.0 dps |
| ≦ ± 2.0 % |
| ±300, ±150, ± 120, ±60, ±30 dps (可指定) |
| 10, 12.5, 27, 30, 46, 60 Hz (可指定) |
| ≦ ± 1.7 % |
| ≦ 0.004 G rms ( 60 Hz ) |
| ≦0.01° |
| X,Y,Z |
| ≦ ± 0.05 G (X,Y,Z) |
| ≦ ± 2.0 % |
| ±16, ±8, ±2, ±1 G(可指定) |
| 10, 46, 60, 250, 300, 400 Hz (可指定) |
| ≦ ± 1.7 % |
| ≦ 0.004 G rms (LPF : 60 Hz ) |
| ≦0.01° |
| 项目 | EWTS5G | |
|---|---|---|
| 高温高湿偏压(THB) | 85 ℃ / 85 %RH / 3.6 V / 1000 h | |
| 高温放置(HTSL) | 150 ℃ / 1000 h | |
| 高温工作(HTOL) | 125 ℃ / 3.6 V / 1000 h | |
| 温度周期(TC) | -55 ℃ ～ 150 ℃ / 1000 cycles |
|
| 耐冲击(MS) | 1500 G / 0.5 ms / 5 times for each 检测轴 | |
| 耐振动(VFV) | 50 G / 20 Hz ～ 2 kHz / 4 times for each 检测轴 | |
| EWTS5G-HP |
|---|
| 85 ℃ / 85 ％RH / 3.6 V / 1000 h |
| 150 ℃ / 1000 h |
| 125 ℃ / 3.6 V / 1000 h |
| -55 ℃ ～ 150 ℃ / 1000 cycles |
| 1500 G / 0.5 ms / 5 times for each 检测轴 |
| 50 G / 20 Hz ～ 2 kHz / 4 times for each 检测轴 |
